检测晶片的凹口位置及偏心位置

配备均匀区域光束的侧视型光纤传感器。

・能利用晶片的凹口及偏心造成的遮光量变化检测出凹口与偏心的位置。 在11mm宽的检测区域内，晶片产生的遮光量成正比。 检测区域内通过特殊的光学部件形成均匀的区域光束。

应用要点

・以往，由于区域传感器的光束不够均匀，因此无法正确检测出晶片的凹口及偏心。

优势/效果

・只要均匀的线性光束使用双输出式光纤放大器，就能同时检测晶片的凹口及偏心。 【使用型号】 光纤单元：E32-T16J 数字光纤传感器：E3X-DA-S