日机伺服是日本第一家生产感应伺服的厂商，在伺服生产和使用方面具有丰富的专业经验。其中日机公司生产的三自由度纳米平台在国际市场得到广泛的好评。
参数表格：
平台规格 |
单位 |
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平台外形尺寸 |
Wmm X Lmm X Hmm |
788mm X 843mm X 210mm |
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Z轴规格 |
分解能：4,300,800pp |
额定扭矩：9Nm |
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平台重量 |
kg |
161 |
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单位 |
X轴 |
Y轴 |
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有效行程 |
mm |
300 |
300 |
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光栅尺分节能 |
μm |
0.1 |
0.1 |
|
使用直线电机类型 |
—— |
无铁芯高推力型 |
无铁芯扁平型 |
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额定推力 |
N |
200 |
90 |
|
精度 |
单位 |
X轴 |
Y轴 |
|
直线度A（垂直） |
μm |
3.2 |
1.4 |
|
直线度A（水平） |
μm |
1 |
1.3 |
|
重复定位精度 |
μm |
+/-0.1 |
+/-0.1 |
|
直角度（对XY轴的Y轴的角度） |
μm |
1.8 |
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